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长春光机所:攻关7年研制重大科研设备

时间:2020-09-01 08:18 来源:
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  近日,由长春光机所承担的国家自然科学基金国家重大科研仪器设备研制专项“1.5米扫描干涉场曝光系统”,经过7年攻关,完成项目验收。该项目的顺利实施与验收,标志着我国具备了独立制作米级单体无拼缝全息光栅的能力,打破了由国外长期垄断的局面,对高能激光、高端光刻等领域的技术与产业推进具有重大意义。
  专项研制的仪器设备包括1台1.5米扫描干涉场曝光系统及4台制作全息光栅所需的辅助工艺设备。攻关工作7年来,项目组解决和突破十几项基础问题和关键技术。项目验收专家组肯定了项目组在大型科研仪器研制方面取得的丰硕成果,并表示该仪器多项技术指标达到国际领先水平。该项目负责人表示,项目组会继续攻坚克难,推进科技成果转化,为国家科技进步和相关领域事业发展贡献力量。

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